壓縮式真空計:又稱麥克勞真空計,是一種測量低真空和高真空的絕對真空計。一般用硬質玻璃制成,通過活塞操作使汞儲存器中的汞上升,將氣體隔成兩個區(qū)域并進行壓縮,根據(jù)玻璃容器體積、毛細管高度和汞柱高度差,利用玻意耳定律算出被測壓力,測量精度較高。
電阻真空計:又稱皮喇尼真空計,是一種測量低真空的相對真空計,主要由電阻式規(guī)管和測量線路兩部分組成。規(guī)管內封裝著電阻溫度系數(shù)較大的鎢或鉑絲,測量時,規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相接,用電壓、電流加熱電阻絲,其表面溫度與周圍氣體分子熱傳導有關,而氣體分子熱傳導又與壓力有關,根據(jù)電阻值大小可測量出壓力。
熱陰極電離真空計:通稱電離真空計,主要用于高真空測量,由圓筒式熱陰極電離規(guī)管和測量線路兩部分組成。規(guī)管有陰極、螺旋形柵極和圓筒形收集極三個電極,測量時,規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相連,通電后熱陰極發(fā)射電子,與管內空間的低壓氣體分子碰撞使氣體分子電離,在被測氣體壓力低于 10-1 帕的狀況下,當電子流恒定時,離子流與被測真空系統(tǒng)中的氣體分子密度成正比,因此離子流大小可作為壓力的度量。
冷陰極電離真空計:一種測量高真空的相對真空計,由電離規(guī)管和測量線路兩部分組成。規(guī)管一般由兩塊平行的陰極、一個環(huán)形的陽極和產生磁場的磁鋼構成,在正交電場和磁場的作用下,由低壓氣體分子電離產生的放電電流是被測壓力的函數(shù),放電電流大小可作為壓力的度量。